日立、製造ライン立ち上げと歩留まり向上を支援するプロセスインフォマティクス技術を開発
SEM画像解析とAIを活用し、中間工程品から製品性能を高精度に予測
日立は、日立ハイテクと共同で、最適な製造プロセス探索を支援する「製造プロセス改善ソリューション」*1を進化させる新技術として、製造途中で得られる計測データを用いて、高精度な性能予測を可能とし、製造ライン立ち上げと歩留まり向上を支援するプロセスインフォマティクス技術を開発しました。本技術では、中間工程品のSEM*2画像データから抽出した構造特徴量*3を用いて性能を予測し、その結果を製造情報へフィードバックします(図1)。従来は製造時に設定した情報を基に性能を予測していましたが、中間工程品の構造特徴量を活用することで、製品性...