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産業

産業・流通向けのIT×OTデジタルソリューションとロボティクスシステムインテグレーション、上下水道などの社会インフラから空調・産業プラントにわたるユーティリティ設備向けのソリューション、産業・社会インフラを支える産業機器などを提供しています。

世界トップシェアの測長SEMで最先端半導体の開発を下支えしつつ、さらなる究極の高精度化の実現をめざす。

測長SEM（CD-SEM：Critical Dimension-Scanning Electron Microscope）は、走査型電子顕微鏡（SEM）の技術を応用することで、半導体のウェーハ上に形成された微細パターンの寸法計測用に特化した極めて高い精度を有する計測装置です。最終製品としての半導体が優れているかどうかは測長SEMの性能次第、ということになります。日立製作所と日立ハイテクはこの半導体測長SEMにおいて世界でトップシェアを維持しています。一方で半導体デバイスの微細化は生成AIブームなどを背景に、より微細なパターンをさらに安定して計測できる技術を必要としているのも事実。研究開発...

hitachi-rd_ @ 研究開発

研究の現場から計測＆分析エレクトロニクス産業半導体電子顕微鏡

半導体製造プロセスで発生する微小な欠陥の検出精度を高める画像解析技術を開発

AIの活用によりデバイス微細化に伴う課題を解決し、お客さまの生産性向上と品質管理に貢献日立は、半導体デバイスの製造工程で発生する微小な欠陥の検出精度向上をめざし、AIを活用した画像解析技術を開発しました。SEM*1式の半導体欠陥検査装置では、デバイス表面に電子線を走査しながら二次電子*2や反射電子*3などを検出し、表面の形態や欠陥を画像として観察します。近年のデバイスの微細化に伴う検査点の増加に対し、電子線をデバイスの広範囲に走査して検査すると、複数回の電子線照射で試料状態が変化して検出される電子の量が不均一となり、画像の輝度値の分布が観察場所ごとに変動し、従来の検査手法*4では精度が...

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研究トピックス計測＆分析 AI＆データサイエンス制御＆メカトロニクス先端ソフトウェア＆システム産業

マルチモーダルなセンサ情報の重要度をリアルタイムに切り替え、安定な組立作業を可能にするロボット制御技術を開発

ロボットの視野内に遮蔽物が存在したり、予期せぬ力が加わった場合でも、柔軟かつ安定に動作することを椅子の組立作業において実証日立は、社会インフラ設備の組立や保守作業の自動化を推進するため、作業時の視覚や力覚*1といったマルチモーダル*2なセンサ情報の重要度を、作業内容や環境に応じてリアルタイムに切り替える技術を開発しました。これまで日立は、早稲田大学理工学術院の尾形哲也(おがたてつや)教授の研究グループと共同で、作業内容や環境が変化しても行動をリアルタイムに決定・実行可能な深層予測学習型のロボット制御技術を開発してきました*3。今回、日立は、狭い空間内で部品をはめ込むような難作業や...

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研究トピックス制御＆メカトロニクス AI＆データサイエンス産業都市・ビル

量子コンピュータの大規模化を支えるシャトリング量子ビット技術と、それを含む量子OS開発へアプローチ

未来のコンピュータとして期待される「量子コンピュータ」。その実現方法についてはさまざまな研究開発が行われ、多くの国や企業がしのぎを削る分野ですが、株式会社日立製作所（以下、日立）では、半導体技術を用いたシリコン量子コンピュータの開発を手掛けています。そうした中で、シリコン量子コンピュータの大規模化に向けて、日立は、大規模化の課題解決につながる「シャトリング量子ビット方式」という技術の開発を行っています。これらの研究を推進する研究開発グループのソフトウェア開発メンバーの二人、佐藤直人リーダ主任研究員と宮本篤志主任研究員の両名に、大規模なシリコン量子コンピュータの実用化に向けたソフトウェア面...

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研究の現場から先端ソフトウェア＆システムエレクトロニクスバックキャスト型研究開発デジタルと人・社会の共進化金融産業量子コンピュータ

日立、現場データの収集技術や生成AIを活用した「現場拡張メタバース」を開発

ニュースリリース概要日立、現場データの収集技術や生成AIを活用した「現場拡張メタバース」を開発原子力プラントの実寸大模型の移設作業において、業務効率化の有効性を確認、多様な産業分野への導入をめざす株式会社日立製作所日立GEニュークリア・エナジー株式会社株式会社日立プラントコンストラクション *資源エネルギー庁の補助金により製作株式会社日立製作所(以下、日立) は、これまで、エネルギーや交通分野の建設・製造・保全などの現場で、施工・製造などの現場関係者と設計・品証・管理部門などの現場外関係者の情報共有や合意形成を促進し、現場業務を迅速に進めるためのメタバース技術の開発に取り組ん...

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ニュースリリース AI＆データサイエンス産業電力＆エネルギーメタバース生成AI ニュース＆イベントニュースリリース（産業）ニュースリリース（AI＆データサイエンス）

シグナルとノイズを高度に分離することで実用性を高め、社会実装を加速させる、日立のノイズ除去技術の最先端

ノイズ（noise）を電気回路から完全に除去することは原理的に不可能ですが、高いレベルでノイズを制御することで、電子機器等の品質をより高いものに向上させることは可能です。つまりノイズ制御（あるいは除去）技術のレベルの高さがサービスや機器のレベルの高さに直結することになります。日立製作所（以下、日立）には半導体から鉄道まで、さまざまなスケールにおけるハイレベルなノイズ対策を開発してきた歴史があります。今回の「研究の現場から」では、このノイズ対策で社外から表彰を受けた2人の研究者が登場。1人はHEV/EV（ハイブリット自動車／電気自動車）向けのインバータのノイズ低減技術を実用化した研究開発グ...

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研究の現場からエレクトロニクス計測＆分析電力＆エネルギー産業モビリティ Electromagnetic Compatibility

機器の劣化評価と予防保全のための振動解析（英語）

Vibration analysis for equipment degradation assessment and preventive maintenance The cost of operation and maintenance of expensive equipment is a serious issue for business owners, so when we look at the high value assets such as wind turbine gear boxes, one of the first questions that comes t...

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Industrial AI Blog AI＆データサイエンス産業

鉄道メタバースで、車両設計と保守・保全の世界観を大きく変える

車両を最適設計し、安全に運行させ、線路を的確に保守する――。日立製作所（以下、日立）では、そうした鉄道システムの制御と車両設計にメタバースを活用する研究を加速させている。これが「鉄道メタバース」だ。研究所内には、天井・壁・床を大型スクリーンで構成するメタバース空間が設置され、線路や車両の3D映像を映し出してさまざまな情報をオーバーレイしつつ、担当者が保守の状況について会話している状態がすでに再現されている。HMD（Head Mounted Display）は不要だ。さらに、線路の異常検知には生成AI (Generative AI)が裏で大活躍する。日立が取り組むメタバースの産業応用の一つ...

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研究の現場から AI＆データサイエンス先端ソフトウェア＆システム制御＆メカトロニクスモビリティ産業生成AI メタバース

半導体ウェハ接合部の欠陥を自動検出する超音波検査技術で令和5年度全国発明表彰「日本経済団体連合会会長賞」を受賞

株式会社日立製作所(以下、日立)と、株式会社日立パワーソリューションズ(以下、日立パワーソリューションズ)は、半導体ウェハ接合部の欠陥を自動検出する超音波検査技術に関する特許(特許第6546826号)で、公益社団法人発明協会主催による令和5年度(2023年度)の全国発明表彰「日本経済団体連合会会長賞」を受賞しました。科学技術的に秀でた進歩性を有し、かつ顕著な実施効果を上げている発明として評価されたものです。 2023年6月12日に開催された表彰式で、発明者ならびに法人代表として日立パワーソリューションズ取締役社長安藤次男が表彰を受けました。「全国発明表彰」の概要全国発明表彰は、日...

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研究トピックス AI＆データサイエンス先端ソフトウェア＆システム制御＆メカトロニクス計測＆分析産業画像認識・処理

仮想空間と現実をつなぎ、設備の点検・修理作業を、遠隔地の熟練者が現場の作業者に効率よく指示可能な技術を開発

熟練者が現場状況を自由な視点で観察し、アバターの手指の動きで現場作業者にお手本を見せる日立は、仮想現実（VR*1）や拡張現実（AR*2）を活用し、産業分野における設備の点検・修理作業を、離れた場所にいる熟練者が現場の作業者に対し、安全・正確に、効率よく指示可能な技術を開発しました。本技術により熟練者は、(1)現場の多様な状況を自由な視点で観察、(2)熟練者のアバターの手指の動きで現場作業者に直感的に指示、(3)熟練者は手指の動きのみで、これら二つの動作を円滑に切り替えることが可能です（図１）。人手不足が深刻化する中、各国のお客さまの設備停止期間を短縮するためにデジタルソリューション...

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研究トピックス先端ソフトウェア＆システム産業都市・ビルサイバーフィジカルシステム VR/AR ウェルビーイング

疑似量子の活用で従来のMIによる材料開発期間をさらに20%短縮できることを実証

ニュースリリース概要疑似量子の活用で従来のMIによる材料開発期間をさらに20%短縮できることを実証疑似量子コンピュータ技術を適用した機械学習により性能予測をさらに高精度化株式会社日立製作所(以下、日立)は、材料開発の加速につながる新たな機械学習モデルを開発し、積水化学工業株式会社と進めているマテリアルズ・インフォマティクス(以下、MI)推進に向けた協創活動*1においてその有効性を実証しました。本モデルは、決定木を用いた材料の性能予測モデルの構築に、量子コンピュータを疑似的に再現する「CMOSアニーリング*2」を適用することで、さまざまな条件を網羅的に考慮することが可能です。これによ...

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ニュースリリース先端ソフトウェア＆システム材料科学＆生産デジタルサービス産業 CMOSアニーリング量子コンピュータニュース＆イベントニュースリリース（先端ソフトウェア＆システム）ニュースリリース（材料科学＆生産）

レアメタルを含まないリン酸鉄系リチウムイオン電池の劣化状況を非破壊で診断する技術を開発

環境にやさしいリチウムイオン電池を搭載した蓄電システムの高信頼化・長寿命化に貢献日立は、レアメタルを含まない「リン酸鉄系」リチウムイオン電池(以下、LIB)の劣化状態を非破壊で診断する技術を世界で初めて開発しました。これまで日立は、蓄電システムの高信頼化・長寿命化に向けて、2007年度より正極材料にレアメタル(コバルト・ニッケル)を用いた「三元系」LIB*1の充電率と電池電圧のデータ解析から、電池の劣化状況を非破壊で診断する技術を発表してきました*2。今回、レアメタルを含まない環境にやさしいリン酸鉄系LIB*3の容量と内部抵抗のデータを用いた解析技術を開発することで、劣化状況を非破壊で...

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研究トピックス材料科学＆生産計測＆分析モビリティ電力＆エネルギー産業リチウムイオン電池脱炭素

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